電子設(shè)備的納米加工已達(dá)到單個(gè)納米級(jí)(10 -9 m)。納米科學(xué)和納米技術(shù)的飛速發(fā)展現(xiàn)在需要原子尺度的光譜學(xué),以表征會(huì)影響電子設(shè)備特性和功