半導(dǎo)體生產(chǎn)廢水處理新技術(shù)的開(kāi)發(fā)
酒精用于在制造過(guò)程中去除半導(dǎo)體或電子產(chǎn)品表面的雜質(zhì),而含有酒精的廢水則采用反滲透、臭氧和生物分解等方法進(jìn)行處理。雖然這些方法可以降低廢水中的酒精濃度,但它們不能完全分解低酒精濃度廢水中的酒精。
這是因?yàn)榫凭c水混溶,使用物理方法無(wú)法將酒精與酒精完全分離,而化學(xué)或生物處理效率極低。出于這個(gè)原因,低酒精濃度的廢水主要在排放前用大量的清水稀釋。
極端材料研究中心的 Sang Hoon Kim 博士和 Gun-hee Moon 博士領(lǐng)導(dǎo)的一個(gè)研究小組開(kāi)發(fā)了一種光催化劑,通過(guò)在鐵中添加非常微量的銅,可以在短時(shí)間內(nèi)完全分解水中的微量酒精氧化物,在高級(jí)氧化過(guò)程中用作催化劑。
研究小組采用芬頓氧化法,在水處理的高級(jí)氧化過(guò)程中使用氧化劑和催化劑。在其他高級(jí)氧化工藝 (AOP) 研究中,醇通常用作驗(yàn)證芬頓氧化過(guò)程中自由基產(chǎn)生的試劑,它們是本研究中從半導(dǎo)體廢水中去除的目標(biāo)。
這種水處理技術(shù)有望顯著降低用于處理半導(dǎo)體廢水的成本和水資源。過(guò)去,為了將廢水中10 ppm的酒精濃度降低到 1 ppm 以下,需要使用比處理廢水體積大 10 倍的清潔水來(lái)稀釋廢水。
如果將KIST開(kāi)發(fā)的光催化劑用于水處理,可以節(jié)約水資源。研究小組將光催化劑應(yīng)用于半導(dǎo)體工廠的廢水,以證明在工業(yè)實(shí)踐中可以達(dá)到與實(shí)驗(yàn)室觀察到的相似的酒精分解水平。
“隨著大規(guī)模半導(dǎo)體生產(chǎn)線的建立,我們預(yù)計(jì)對(duì)半導(dǎo)體廢水處理的需求將迅速增加,”金博士說(shuō)。“我們的研究結(jié)果將提供一種解決方案,以使用更少的資源和更低的成本有效處理半導(dǎo)體廢水,”他補(bǔ)充說(shuō)。
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